供应日本SMC磁性开关,MDBD63-150-XC5

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系列/CAD 阀形式 使用流体 配管连接方式 配管尺寸
XVD  常断
（加压通/弹簧密封） 氮气、空气、惰性气体等 VCR®
Swagelok® 1/4B
特长 •阀与针阀一体化结构使配管缩短为原来的1/4。
•（阀芯）座部分采用间隙隔膜，微粒子数量大幅降低。
• 伴随主供气初期供气可进行流量调整。
 系列/CAD 使用压力范围 （Pa） 使用流体 门尺寸
（×宽） （mm） 动作压力
（MPa）
XGT  大气压～1×10-6 惰性气体系的真空 32×222
46×236
50×336 0.45～0.6
特长 •对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合。
系列 SV1000 SV2000 SV3000 SV4000

使用流体 空气
内部导式
使用压力范围
MPa
2位单电控
4位双3通阀
2位双电控
3位阀
外部导式
使用压力范围
MPa
使用压力范围
2位单电控、双电控
3位阀
环境温度及使用流体温度℃
Z大作动频度
Hz
2位单电控、双电控
4位双3通阀
3位阀
0.15~0.7
0.1~0.7
0.2~0.7
-100kPa~0.7
0.25~0.7
5
3
   响应时间
       ms
（0.5MPa时）
2位单电控
2位双电控
3位
4位双3通阀
11以下
10以下
18以下
15以下
25以下
17以下
29以下
33以下
28以下
26以下

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