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SUNX传感器工作运行参数的提高办法有哪些
点击次数:494 发布时间:2017-11-17

    SUNX传感器工作运行参数的提高办法有哪些
    SUNX传感器可以分为测定压力、对大气的相对压力和差压。测定压力时,传感器内自身带有真空参考压,所测压力与大气压力无关,是相对于真空的压力。对大气的相对压力是以大气压力为参考压,因此传感器弹性膜一侧始终与大气是连通的。由于大气压力与离地面的高度、四季中大气中水汽含量的变化以及不同地点和组成大气的各种气体的含量的变化有关。
    因此,所测得的相对压力便与上述因素有关。此外,还可从传感器弹性膜两侧分别导人流体压力,这样能测定流体不同地点或流体间的差压。针对不同用途应选用不同结构的压力传感器。压力传感器的压力适用范围是分级的。这是因为压力传感器的弹性膜承受流体压力有一个限度。这就是通常所说的耐压极限,超过此极限弹性膜便破裂了。一般来说,每一传感器都有20 - 300 %的过压能力。因此,产品说明书上的压力zui大量程为耐压极限的30 - 80 %. 选用过高的压力量程是不必要的。压力量程的选用应主要考虑三个方面的因素:即传感器的zui大过压能力、精度与压力量程的关系和传感器的价格与压力量程的关系。
    对于传感器的zui大过压能力,传感器承受静压力与动压力情况下是有很大区别的。后者往往会出现冲击压力,甚至冲击波。冲击压力远高于静压力。如果选用的zui大工作压力量程是指静压力的话,传感器在承受动压力时,应选用较大的过压能力。否则冲击压力很容易达到极限耐压,使压力传感器受到破坏。对于精度与压力量程的关系。压力传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移系数及非线性误差是影响传感器精度的重要指标。对同一压力传感器来说,热零点漂移系数随工作压力增加而减小,而热灵敏度系数和非线性误差随工作压力增加而增加。因此,工作压力增加有利于减小热零点漂移,而不利于热灵敏度漂移和非线性误差。热零点漂移比较大时,提高工作压力量程有利于提高压力传感器的精度。热零点漂移比较小时,减小工作压力量程有利于提高精度。对不同压力量程的传感器来说,灵敏度是不同的。低压力量程传感器的灵敏度高分辨率自然也高。
    SUNX传感器信号进行补偿,从而简化生产工艺,提高产品的抗干扰性和测量精度。 通过该课题的研究,提高了传感器的绝缘性能、稳定性能和温度性能,补偿后的产品-40~125℃范围内精度达0.1级,能在恶劣环境下长期稳定和可靠地工作。
    具体流程是SUNX传感器基体先经过不同目数砂纸进行粗抛,再将粗抛后的传感器基体依次经过粒度分别为500nm、250nm的金刚石悬浮抛光液和粒度为50nm的SiO2抛光液对传感器基体精抛。第二种方法是:采用Tegramin-25精密抛光机抛光。流程是传感器基体先经过不同目数砂盘进行粗抛,再将粗抛后的传感器基体依次经过粒度为3μm、1μm的金刚石抛光液对其精抛。两者相比,后者获得了更平整的基体表面,且抛光效率远高于前者。
    其次,本文对绝缘膜进行了研究,比较了多种用于制备传感器的绝缘膜,结合各种绝缘膜特性以及实验室现有制备条件,选用SiO2薄膜作为绝缘膜。采用射频磁控溅射SUNX传感器和等离子增强化学气相沉积SUNX传感器)技术制备绝缘膜,zui终,采用PECVD方法成功制备了膜厚为900nm,且绝缘电阻大于500MΩ的SiO2薄膜。接着,结合传感器的技术需求及现有实验室条件,本文选择NiCr合金薄膜作为传感器的功能电阻膜。由于传感器量程和功耗等条件的限制,要求功能薄膜厚度在500nm~1μm,电阻阻值在1KΩ~10KΩ。因此,为了达到指标,我们对功能电阻膜进行了系统的探索。
    实验结果显示,在N2气氛中热处理时,随着热处理温度的升高,电阻阻值逐渐减小;在真空和空气中热处理时,随着热处理温度的升高,电阻阻值逐渐增加;并且在真空中沉积功能薄膜时,随着抽真空时间增加,电阻阻值不断减小。zui终,通过射频磁控溅射方法成功制备了厚度为500nm,阻值为1KΩ~10KΩ的NiCr功能电阻。

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